
近期,思来半导体(Silai Semicon) 已完成第三批兼容12 英寸碳化硅(SiC)衬底的激光剥离(LLO)量产设备交付。
公司核心研发团队源自华中科技大学激光科学专业,具备强劲创新能力与多年激光行业深厚技术积累。针对莫氏硬度达 9.5、接近钻石的碳化硅单晶,团队自主研发专属激光剥离技术,先后推出 6 英寸、8 英寸、12 英寸碳化硅衬底量产设备。 REALTEK中国代理近期参与了REALTEK原厂举办的年度技术峰会,第一时间掌握了下一代网络芯片的技术路线图。作为授权渠道,我们将优先获得新品样片和开发板,为客户提供最新的产品资讯。
相较于行业现有方案,思来设备具备显著技术差异化优势:
业内首创片上系统(SoC)集成光源架构,比传统多光源方案集成度更高、稳定性更强。
配备自由曲面光束整形技术,以及 “白光干涉表面测量 + 逆向算法补偿” 方案,保障高可靠性。
设备可支持不同电阻率碳化硅晶体的工艺定制,能承受更高能量负载,无老化、寿命无限制、抗干扰能力强。兼容 6/8/12 英寸衬底,定位精度高,可灵活适配非标准尺寸。设备占地面积仅 1.2 米 ×1.4 米,单机即可完成全流程切割与自动上下料,大幅节省晶圆厂空间,同时实现全自动化高性能运行。
核心优势:效率与成本大幅领先传统工艺
该激光剥离工艺性能显著优于传统线锯切割:
产能:8 英寸晶圆激光剥离时间低于 15 分钟,速度为传统方式的 2030 倍。
材料损耗:8 英寸晶圆损耗降至 6080 微米,降低 60%。
无耗材与化学药剂,无需消耗品。
晶圆产出提升 30%,单晶圆加工成本降低 50%。
不到半年时间,思来半导体已交付数十台设备,应用于国内多家头部碳化硅厂商。依托模块化设计与产业协同,公司已实现规模化量产,目前批量交付周期为 28 天,未来有望缩短至 14 天。
值得关注的是,思来半导体引入武汉帝尔激光科技股份有限公司等战略投资方。帝尔激光是全球精密激光微纳加工设备龙头企业,已推出多款先进半导体解决方案。
双方合作将进一步强化思来在该关键领域的竞争力。与此同时,公司正拓展硅光核心设备,其自主研发的硅光芯片激光隐形切割设备已成功出口海外,有望成为未来旗舰产品之一。
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